隨著精密制造和光電子領(lǐng)域的快速發(fā)展,對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件相關(guān)參數(shù)的高精度實(shí)時(shí)檢測(cè)變得越來(lái)越重要。為實(shí)現(xiàn)物體納米精度的微位移傳感與測(cè)量更是具有至關(guān)重要的意義。精密制造業(yè)中精細(xì)加工質(zhì)量的保證取決于設(shè)備中主要傳感器給出的傳感精度,沒(méi)有高精度的傳感手段和儀器,加工精度根本無(wú)法保證。我們知道在精密儀器中,任何復(fù)雜的執(zhí)行動(dòng)作都是由齒輪的轉(zhuǎn)動(dòng)、微鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)、傳動(dòng)桿的滑動(dòng)以及活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)等單元?jiǎng)幼鹘M合而成,這些單元?jiǎng)幼鞫伎赊D(zhuǎn)換成兩垂直方向的微位移。因此,任何操作的準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)都是基于兩垂直方向微位移的準(zhǔn)確控制,而微位移的準(zhǔn)確控制的前提是它們的高精度傳感和測(cè)量。
全光纖位移干涉測(cè)速儀是一種用于安全科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的計(jì)量?jī)x器,利用等光程相干原理和光纖延遲線(xiàn),大大降低了系統(tǒng)對(duì)光源相干性及帶寬的要求。系統(tǒng)造價(jià)低廉,調(diào)試簡(jiǎn)單,輕巧易于使用,能夠靈活更換延遲光纖滿(mǎn)足不同的測(cè)試要求,有著廣泛的應(yīng)用前景。但采用的光纖準(zhǔn)直器口徑普遍較小,一般在毫米量級(jí),工作距離有限,在漫反射情況下難以收集漫反射光。
全光纖位移干涉測(cè)速儀的特點(diǎn):
1、采用交流放大器,更穩(wěn)定,抗環(huán)境干擾能力更強(qiáng);
2、采用高倍電子細(xì)分,可達(dá)納米級(jí)分辨率;
3、采用光纖傳輸,裝調(diào)更便捷,更容易實(shí)現(xiàn)多軸同步測(cè)量;
4、具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。